光學計量
光學計量指的是一組表征技術(shù)，這些技術(shù)涉及光的檢測和測量：
a）光源發(fā)射的光，或b）被檢查元件反射或透射的光。
它們可以從一個或多個角度進行，具體取決于被分析對象的要求。
白光干涉測量法、光學顯微鏡、共聚焦顯微鏡、光譜學、橢圓偏振測量法或反射計是一些最常用的技術(shù)。
與其他傳統(tǒng)測量方法相比，它們是非接觸的、無損的、準確的、快速的和可靠的。
這些特性使它們成為檢驗、質(zhì)量控制和過程控制目的的不同應用中的一個很好的解決方案。
微光學和光學元件、醫(yī)療設(shè)備和產(chǎn)品、電子顯示器或汽車零部件的新發(fā)展推動了對更精確制造工藝的需求，從而推動了計量工具的發(fā)展。
除了通常對越來越高的分辨率和精度的要求外，如今測量更復雜的結(jié)構(gòu)和更大尺寸或更寬角度的特征是至關(guān)重要的。
光學計量和工業(yè)數(shù)字化
最近的發(fā)展使智能多傳感器系統(tǒng)或虛擬計量等創(chuàng)新成為可能，將計量的作用從僅僅的后期生產(chǎn)活動轉(zhuǎn)變?yōu)閷崟r檢查和分析過程。
通過工業(yè)4.0相關(guān)技術(shù)實現(xiàn)工廠數(shù)字化的增加，導致了不同生產(chǎn)設(shè)備、機器或流程的數(shù)據(jù)收集和使用。
光學計量技術(shù)成為快速控制和驗證解決方案，通常與自動定位系統(tǒng)或工業(yè)機器人相結(jié)合。
這些測量設(shè)備可以在裝配和生產(chǎn)單元附近工作，在工藝之前、期間和之后進行檢查，并存儲與每個產(chǎn)品相關(guān)的數(shù)據(jù)。
通過這種方式，可以在制造過程中獲得關(guān)于工件特性的所有相關(guān)信息，然后為了質(zhì)量控制的目的進行分類等操作。
光學元件制造
光學元件的制造不僅需要精確地制造和拋光，還需要精確地測量。
該行業(yè)已經(jīng)建立了多種計量技術(shù)，用于測量不同的關(guān)鍵參數(shù)（曲率半徑、平面度、粗糙度、薄膜厚度、透射率…），包括共焦顯微鏡、橢圓測量術(shù)或干涉測量術(shù)等等。
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半導體和消費電子
半導體行業(yè)的生產(chǎn)要求非常高。
首先，由于目標是每小時制造盡可能多的晶圓，因此存在很大的時間壓力，并且所涉及的所有過程必須非常快和/或提供非常及時的故障檢測和控制回路。
其次，所用材料的高成本意味著不生產(chǎn)壞零件至關(guān)重要。
光學計量解決方案是高速測量和缺陷檢測的完美選擇，近年來已經(jīng)對幾種技術(shù)進行了調(diào)整，以滿足該行業(yè)的特殊要求。
它們現(xiàn)在已經(jīng)成為半導體生產(chǎn)中的重要工具，以檢查日益復雜和小型的3D結(jié)構(gòu)，以及所生產(chǎn)的厚度要求低至納米的薄層。
結(jié)論
光學測量技術(shù)正越來越多地應用于各種不同的行業(yè)，在一些應用中，它們已被證明是執(zhí)行質(zhì)量和過程控制的最有效和最通用的工具。
最近的發(fā)展重點是解決以前系統(tǒng)的一些局限性，并以更高的精度測量半導體、消費電子、汽車、光學元件和醫(yī)療行業(yè)的新的、要求更高的產(chǎn)品和功能。
市場上有一個明顯的趨勢，即將這些解決方案集成到機械臂和其他定位系統(tǒng)中，以執(zhí)行現(xiàn)場測量并在制造過程中實時提供有價值的信息。
